| 品牌 | 日本三豐 | 型號 | QV606 |
| 類型 | 全自動三坐標測量機 | 定位精度 | 分辨率:Apex:0.0001/Hyper:0.00002(mm) |
型號:QV606
| 型號 | QV606 | |||
| 測量范圍 | X軸 | 600mm(24") | ||
| Y軸 | 650mm(26") | |||
| Z軸 | 250mm(10") | |||
| 分辨率 | Apex:0.0001mm/Hyper:0.00002mm | |||
| 測量精度 (20℃±1℃) | E1xy:(1.5+3L/1000)μm,E1z:(3+4L/1000)μm,E1z:(4+5L/1000)μm*,Ezxy:(2.5+4L/1000)μm | |||
| E1xy:(0.8+2L/1000)μm,E1z:(3+4L/1000)μm,Ezxy:(2.5+4L/1000)μm | ||||
| 放大倍數 | P/T:32X-192X(使用1X物鏡),80X-480X(使用2.5X物鏡),160X-960X(使用5X物鏡) PRO :16X-240X(15級電動變焦) | |||