Z軸裝有數(shù)顯弧形標尺,可以提供更大的測量范圍和更高的分辨率,從而不必再依次測量倍率??梢詰脭?shù)據(jù)分析系統(tǒng) (個人計算機和Rormpak-1000軟件和XY繪圖儀)技術參數(shù)
| X軸 | 測量范圍 | 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) |
| 分辨率 | 0.2μm |
| 測量方法 | 反射型線性編碼器 |
| 驅動速度 | 0.2,1mm/s和手動 |
| 測量速度 | 0.02-5mm/s |
| 測量方向 | 向后 |
| 直線度 | 3.5μm /50mm(CV-1000)3.5μm /100mm(CV-2000)*當X軸在水平方向上 |
| 指示精度(20℃) | ±(3.5+2L/100)μmL為驅動長度(mm) |
| 傾斜范圍 | ±45°(CV-2000) |
| Z1軸 | 測量范圍 | 25mm(CV-1000)或40mm(CV-2000) |
| 分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列)0.5μm(CV-2000系列) |
| 測量方法 | 弧形編碼器 |
| 指示精度(20℃) | ±(3.5+14H/25)μm)H為水平位置上的測量高度(mm) |
| 探針上下運作 | 弧形運動 |
| 探針方向 | 向下 |
| 測力 | 10-30mN |
| 跟蹤角度 | 向上 | 77° |
| 向下 | 87° |
| 探針針尖 | 半徑 | 25μm |
| 材料 | 硬質合金針尖 |
| 基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) |
| 基座材料 | 花崗巖(CV-2000) |
| 重量 | 主機 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) |
| 控制裝置 | 14kg |
| 遙控箱 | 0.9kg |
| 電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz |
| 能耗 | 150W僅限主機 |
| Z2軸(立柱,僅用于CV-2000) | 立柱類型 | 電動(S4型)和手動(M4型) |
| 垂直行程 | 250mm(S4型)和320mm(M4型) |
| 分辨率 | 0.2um(S4型) |
| 檢測方法 | ABSOLUTE線性編碼器(S4型) |
| 驅動速度 | 0-5mm/s和手動 |
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