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規(guī)格(mm)
相領(lǐng)兩測量面垂直度
測量面直線度
相對測量面平行度
精度等級um
00
0
160×160
2
4
0.8
1.7
200×200
0.9
1.8
250×250
2.2
4.5
1
315×315
2.6
5.2
1.1
2.3
5.5
400×400
3
6
1.3
500×500
3.5
7
1.5
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