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CP7K型:X,Y軸:225mm×150mm and 300mm ×200mm,Z軸行程:175mm 全部花崗石結(jié)構(gòu);高分辨率;高精度;CCD測(cè)量系統(tǒng)(可選配顯微鏡系統(tǒng))。 標(biāo)準(zhǔn)型: X,Y軸:50mm×50mm or 100mm×50mm;Z軸行程:200mm 支持OV2或標(biāo)準(zhǔn)放大鏡頭;可選用微分頭讀數(shù);可選擇照明;輔助鏡頭。CP24型:X,Y軸:500mm×600mm,Z軸行程:200mm; 使用Starrett技術(shù)的花崗石平臺(tái);線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng);空氣軸承或機(jī)械軸承設(shè)計(jì);高精密度。