高精度激光位移傳感器ZLDS/N-100是一款非接觸式高精度光學(xué)位移傳感器,具有100微米的量程和15納米的分辨率,起始測量距離是3mm。ZLDS/N-100可以相當(dāng)于一個高分辨率的電容傳感器。對于定點測量,振動測量,表面輪廓測量,對于被測體有較寬的適用范圍,比如金屬,半導(dǎo)體和玻璃。該傳感器可以很容易與現(xiàn)有設(shè)計相接合,而且具有較大的基準(zhǔn)距,ZLDS/N-100都是一款理想的測量工具。
高精度激光位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:
應(yīng)用于光盤、硬盤的高精度在線非接觸性檢測,還可以應(yīng)用于電機(jī)等強(qiáng)磁場測振和表面輪廓測量。
高精度激光位移傳感器主要特點:
高數(shù)據(jù)采集,高分辨率,可替代電容式傳感器;
對電磁場不敏感,可用于電機(jī)等強(qiáng)磁場測振;
對被測體表面要求低,反射率4~100%均可用;
寬頻帶,可測高頻振動體;
技術(shù)規(guī)格: