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一.測量范圍與分格值
1.x,y向坐標
測量范圍: X-Y向 150×100mm(選購200×150mm)
測量分辨率 0.001mm
2.瞄準顯微鏡
升降行程 120mm
3.測角目鏡
角度測量范圍 360°
分度值 1′
4.輪廓目鏡測量分辨率
角度測量范圍 ±7°
分度值 10′
圓弧分劃板: 曲率半徑 R自0.1至100mm
5.光學定位器
測頭直徑 φ3±0.1mm
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