特 點 *精度高。本儀器的測量基準是比被檢傳感器高出約1個量級的光電傳感器,其核心測量元件是本公司特有的納米光柵。這種納米光柵 是在特制的光柵刻劃機上,使用特殊技術,依靠光波波長平均定位刻制而成。實質上,這種納米光柵就是一種刻錄、固化到玻璃表面 上的光波波長。它不受空氣折射率、大氣壓力、濕度等因素的影響,受環(huán)境溫度的影響大為降低,可以獲得十分穩(wěn)定的讀數。在100 毫米長度上位置誤差可小于±20納米。 * 本儀器在總體結構上嚴格符合Abbe原理,被測傳感器與基準傳感器嚴格處在同一軸線上,確保了很高的測量精度。
*效率高。無論100個、 1000個或10000個測點,都在一次掃描中完成自動測量、自動記錄,總共需時20秒鐘左右,所以效率很高。并 且大大減少了環(huán)境溫度變化和震動的影響。 * 測點密。在10毫米量程范圍內一次掃描測量可以迅速得到100-1000個測點,即每隔0.1毫米或0.01毫米得到一個測點。如果需要,可 將測點進一步局部加密,對某些可疑之處或誤差突變之處實行加密掃描測量,例如可以每隔10微米、1微米、0.1微米甚至0.001微米 測量一個點,獲得極其細微的誤差分布曲線。 * 動靜兩用。本儀器既可動態(tài)測量,又可靜態(tài)測量。對于檢測百分表、千分表、光學計、烏式干涉儀、機械比較儀等人工讀數的檢具可 以使用靜態(tài)測量(手動測量);對于各種傳感器可以實行動態(tài)測量(自動測量)。 * 智能功能。本儀器內置單片微機,具有多種智能功能,如自動求值、最小值、峰峰值、任意清零、公/英制轉換,并且具有計算 機接口,可以與計算機通訊,實現數據自動處理、自動打印、自動繪制誤差曲線等。 |