nikon尼康L200晶圓檢查顯微鏡

詳細(xì)介紹

nikon 尼康 L200 L200A L200D半導(dǎo)體 8寸 晶圓檢查 顯微鏡

CFI60無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)是將尼康的CF(自動(dòng)消色差)設(shè)計(jì)與無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合在一起，使得物鏡不僅工作距離更長，而且數(shù)值孔徑更高； 符合SEMI S2-93A,S8-95設(shè)計(jì)； 利用計(jì)算機(jī)輔助工程系統(tǒng)（CAE）對(duì)機(jī)身進(jìn)行防震設(shè)計(jì)； 具有全面的防污染措施。

主要技術(shù)參數(shù) 　 　

調(diào)焦機(jī)構(gòu)行程：29mm，粗調(diào)：每轉(zhuǎn)12.7mm(扭矩可調(diào)，具有再聚焦制動(dòng)裝置)，微調(diào)：每轉(zhuǎn)0.1mm，每格1µm。

落射照明器 內(nèi)置12V100W鹵素?zé)?，?nèi)置式孔徑光闌（中心可調(diào)），固定型視場(chǎng)光闌（具有可調(diào)對(duì)準(zhǔn)板），還可安裝選配的小孔光闌滑塊，可安裝的4個(gè)ø25mm的濾光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和檢偏器。

透射照明器（僅L200D） 內(nèi)置12V100W鹵素?zé)簦瑑?nèi)置式孔徑光闌，內(nèi)置式LWD聚光器，可安裝的2個(gè)ø25mm的濾光片（NCB11,ND4）。

物鏡轉(zhuǎn)換器 固定式六孔物鏡轉(zhuǎn)換器，具有DIC插槽 目鏡筒 超寬視場(chǎng)可傾式三目鏡筒

載物臺(tái) 8X8載物臺(tái)，行程：205X205mm （透射觀察時(shí)：105X105mm）粗微移動(dòng)可以互換，X-Y方向微動(dòng)手柄位置固定。

目鏡 CFI目鏡系列 物鏡 CFI LU/L 平場(chǎng)系列

詳 細(xì) 說 明：