明克斯XLE-2大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡

產(chǎn)品概述：

    明克斯XLE-2大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積集成電路，晶片的質(zhì)量檢測(cè)而設(shè)計(jì)開發(fā)制造的。主體為：正置式、三目鏡筒，比傳統(tǒng)的顯微鏡更適合于觀察。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、放大倍數(shù)：40倍至500倍；
2、超大型載物臺(tái)，樣品可作大范圍的縱、橫方向快速移動(dòng)，擴(kuò)大檢測(cè)領(lǐng)域的使用范圍。
3、可以與OVM-TM軟件搭配使用。

技術(shù)參數(shù)：
　
1、機(jī)械筒長(zhǎng) 160mm。
2、物鏡：

放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑	有效工作距離（mm）	介質(zhì)
4×	0.10	17.912	干
10×	0.25	6.544	干
20×	0.40	1.05	干
40×	0.65	0.736	干

3、目鏡：

放大倍數(shù)	焦距	視場(chǎng)直徑	備注
10×	25	18
12.5×	25	14	選配

4、放大倍數(shù)  40×--400×。
5、載物臺(tái)面積  350mmX255mm 。
   縱向移動(dòng)范圍---200mm
   橫向移動(dòng)范圍---200mm
6、粗微動(dòng)調(diào)焦范圍 25mm。微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)一圈樣品升降0.2mm，格值0.002mm。
7、光源 鎢鹵素?zé)?V20W，內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源。
8、物鏡轉(zhuǎn)換器  四孔式 (三孔式)。
9、目鏡筒  三目鏡  (雙目鏡)。