明克斯XLE-3大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡

產(chǎn)品概述：

    明克斯XLE-3大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積集成電路，晶體的質(zhì)量檢測(cè)而設(shè)計(jì)開發(fā)制造的。正置式，三目鏡筒，比傳統(tǒng)的顯微鏡更適合于觀察。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、放大倍數(shù)：40倍至500倍；
2、超大型載物臺(tái)，可作大范圍的縱橫方向快、慢速移動(dòng)，擴(kuò)大檢測(cè)領(lǐng)域的使用范圍。
3、可以與OVM-TM軟件搭配使用。

技術(shù)參數(shù)：

1、機(jī)械筒長(zhǎng)160mm。      
2、物鏡

放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑	工作距離	介質(zhì)	使用范圍	配置
4×	0.10	17.912	空氣	明場(chǎng)	1
10×	0.25	6.544	空氣	明場(chǎng)	1
PC20×	0.40	1.05	空氣	明場(chǎng)	1
PC40×	0.65	0.736	空氣	明場(chǎng)	1

3、目鏡

放大倍數(shù)	焦距	視場(chǎng)直徑	備注
10×	25	18	-
12.5×	25	14	選配

4、物鏡：放大倍數(shù) 40倍至500倍。
5、載物臺(tái)面積  400mm×300mm。縱向移動(dòng)范圍---254mm橫向移動(dòng)范圍---254mm
6、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：同軸粗微調(diào)機(jī)構(gòu)，調(diào)焦范圍36mm.格值0.002mm。
7、光源：內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源，鎢鹵素?zé)?2V/50W。
8、物鏡轉(zhuǎn)換器  五孔式 (四孔式)。
9、目鏡筒  三目鏡  (雙目鏡)。
10、儀器功能，明場(chǎng)、偏光、攝影等。
11、儀器重量：17公斤。
12、儀器體積：長(zhǎng)560mm，寬530mm，高400mm。