系統(tǒng)的核心, Trimos DHM? (數(shù)字全息顯微鏡), 源于在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域采用的技術(shù),系統(tǒng)本身基于表面結(jié)構(gòu)的物理信息特征分析,采用這種技術(shù)用于工業(yè)領(lǐng)域表面檢查為Trimos專有。它與其它產(chǎn)品相比較的優(yōu)勢在于可以測量反射非常大的表面,鏡面拋光后或者很小平面。特別高的測量速度和納米級的精密測量范圍是它的突出優(yōu)點(diǎn)。只需要幾豪秒時間就可以獲得一百萬點(diǎn)的尺寸圖像三維數(shù)據(jù). 如此高的測量速度使它完全可以忽略因振動引起的測量問題。它內(nèi)部的測量頭可互換可以使用測頭(接觸測量)。多樣的選擇使它在多種工業(yè)領(lǐng)域的加工后表面結(jié)構(gòu)測量都可使用如(所有經(jīng)加工過的表面),應(yīng)用領(lǐng)域如汽車和航空工業(yè)、表面涂敷、聚合涂層、在光學(xué)元件、醫(yī)療儀器、微型機(jī)電系統(tǒng)、半導(dǎo)體研發(fā)和質(zhì)量控制等。
特點(diǎn):
◆ 測量速度快
◆ 對振動不敏感
◆ 垂向分辨率到納米級??
◆ 采用激光找正非常容易實(shí)現(xiàn)工件定位
◆ 非接觸測量,無損檢測
◆ 高技術(shù)的軟件配置
◆ 分析表面形貌和結(jié)構(gòu)
◆ 預(yù)先設(shè)定測量程序
◆ 二維和三維標(biāo)準(zhǔn)兼容
軟件(附加/選項(xiàng)模塊):
NanoWare XT : (2D)用于二維輪廓分析的全套軟件
NanoWare XT : (2D)用于二維輪廓分析的全套軟件
NanoWare XTT : (2D and 3D)二維三維輪廓分析的先進(jìn)模塊軟件
NanoWare PRO : 二維三維輪廓分析的所有模塊軟件
測量頭:
DHM S1 :用于光亮表面粗糙度測量頭
DHM S2 :中等范圍的表面粗糙度
DIA P1 :有金剛石測頭的測量頭
標(biāo)準(zhǔn)配置如下:
根據(jù)要求配置的儀器,不含測量頭
用戶手冊
電腦和觸摸屏
TR Scan 101,無工作臺,軟件NanoWare LT,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TR Scan 201,單軸測量工作臺,NanoWare LT軟件,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TR Scan 301,雙軸測量工作臺,NanoWare LT軟件,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TR Scan 102,無工作臺,軟件NanoWare LT,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TR Scan 202,單軸測量工作臺,NanoWare LT軟件,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TR Scan 302,雙軸測量工作臺,NanoWare LT軟件,僅用于DHM S1 & DHM S2測量頭
TRSCAN | 100 | 200 | 300 |
X軸測量范圍mm | 100 | 100 | |
Y軸測量范圍mm | 100 | ||
Z軸位移范圍mm | 240 | ||
工件重量Kg | 20 | ||
儀器重量Kg | 80 |
隨時DHM測量頭
DHM | S1 | S2 |
Z軸測量范圍mm | 5 | 10 |
Z軸分辨率nm | 1 | 2 |
0.5x0.5 | 1x1 | |
水平面分辨率(X,Y)um | 0.8 | 1.6 |
測量距離mm | 6 | 12 |
2維測量速度mm/s | 1 | 2 |
3維測量速度mm/s | 0.5 | 1 |
Measuring head with probe (diamond stylus)