德國(guó)BMT WLI白光干涉儀的詳細(xì)信息

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主要用途：粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量金相測(cè)量非接觸式表面輪廓的計(jì)量

主要特點(diǎn)
0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)配置物鏡切換盤確定垂直分辨率來設(shè)定測(cè)量時(shí)間橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)

主要優(yōu)點(diǎn)：高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過程將微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描

軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測(cè)量和評(píng)估軟件包括下列功能：??水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數(shù)學(xué)計(jì)算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測(cè)定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。?
用戶特定要求的計(jì)算方法 ?技術(shù)數(shù)據(jù)：共焦顯微鏡頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器?光源: LED壽命 h: > 50,000小時(shí)采用步進(jìn)電機(jī)時(shí)的測(cè)量范圍mm：50mm采用壓電執(zhí)行器件時(shí)的測(cè)量范圍μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm橫向分辨率μm: 1μm工作距離mm: 0.66mm視場(chǎng)μm: 370 x 280μm256個(gè)高度臺(tái)階的測(cè)量時(shí)間s: 約 30秒重量kg：約12kg?測(cè)量工作臺(tái) X、Y、Z每軸位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm