極高分辨率的掃描電子顯微鏡
Magellan XHR SEM 系列掃描電子顯微鏡 (SEM)讓科學家和工程師迅速看到以前無法視及的微觀世界： 高靈敏的表面圖像、以及俯視或從其它角度觀看圖像，分辨率可達到一納米以下。 這款電鏡上的一些重要突破在于它鏡筒上采用了革命性的單色槍技術(shù),它使顯微學家可完美地把高空間分辨率和超淺入射電子束結(jié)合在一起。 Magellan XHR SEM 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 在不受樣品大小限制的條件下,既擴展了傳統(tǒng)納米尺度掃描電子顯微鏡的成像和分析范圍與能力，同時又具備相當于傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 的速度和易用性。
規(guī)格
| 加速電壓 | 5 V - 30 kV |
| 放大倍數(shù) | 在射束同心時為 1.5 mm（寬度為 4 mm） |
| 探針電流 | 電子束：1 pA - 22 nA |
| 試件室 | 100 mm 直徑、360 度旋轉(zhuǎn)（） |
主要優(yōu)點
• 亞納米分辨率、1 kV - 30 kV 加速電壓、無與倫比的穩(wěn)定性和高達 20 nA 的電子電流
• 創(chuàng)新的電子光學，包括 FEI 的 單色UniColore (UC) 技術(shù)（使能散小于 0.2 eV）
• 使用單個工具進行材料和缺陷分析，實現(xiàn)高生產(chǎn)量和“快速應(yīng)答”
• 表面靈敏高分辨率成像，低至 50 V 的著陸能量
• 高精密、高穩(wěn)定樣品臺，可在大分析室內(nèi)進行 100 x 100 mm 樣品完整表面的 超高分辨成像
• 樣品尺寸、形狀、成分、制備不會互相制約
• 包括分析和原型制造的多樣應(yīng)用性
• 簡單易學、易用
