BXT2931C型四通道半導(dǎo)體參數(shù)分析系統(tǒng)
1、設(shè)備描述
BXT2931C型四通道半導(dǎo)體參數(shù)分析系統(tǒng)為高性能、全自動(dòng)、可程控設(shè)備?？捎糜诙囝惏雽?dǎo)體器件(如二極管、三極管、場效應(yīng)管、MOS、CMOS管等的多種不同成品形式如晶片、成品電路等)的直流參數(shù)測(cè)量和分析，并可進(jìn)行圖形顯示。主要應(yīng)用于集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)，新元件的評(píng)價(jià)，新材料的評(píng)估，電路設(shè)計(jì)的元件選擇，半導(dǎo)體生產(chǎn)的過程控制、質(zhì)量控制及品質(zhì)保證等。
2、主要組成
設(shè)備配備可程控的源／測(cè)量單元（SMU）4個(gè)，單路電壓監(jiān)測(cè)單元（VMU）1個(gè)，主控單元（MCU）1個(gè)。使用GP-IB IEEE488.2接口與微機(jī)相連，配置的控制機(jī)軟件系統(tǒng)可遙控BXT2931C設(shè)備，使用BXT2931C設(shè)備采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖形顯示并分析。該設(shè)備可獨(dú)立使用，也可作為實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)線完整測(cè)試系統(tǒng)的組成部件之一。
3、設(shè)備參數(shù)
基本功能： | 施加電壓測(cè)量直流電流／施加電流測(cè)量直流電壓；控制微機(jī)屏幕顯示測(cè)量／計(jì)算結(jié)果；圖形分析；測(cè)量設(shè)置、測(cè)量數(shù)據(jù)文件的存儲(chǔ)與載入； |
主控緩存： | 256K SRAM； |
源／測(cè)量單元： | 4通道，每通道可編程實(shí)現(xiàn)可變直流電壓源／電流監(jiān)測(cè)或可變直流電流源／電壓監(jiān)測(cè)。（單元編號(hào)29310A）； |
電壓測(cè)量單元： | 單通道16-bitAD轉(zhuǎn)換（單元編號(hào)29310D），快單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間50uS，和積分時(shí)間有關(guān)的平均測(cè)量次數(shù)：快速－8次，中速－16次，慢速－24次 |
源／監(jiān)測(cè)功能
29310A源／測(cè)量單元（4通道）：
源／分辨率/輸出范圍：
電壓源輸出范圍 | 電壓輸出分辨率 | 輸出電流 |
|
±20V | 1mV | ±100mA |
|
±40V | 2mV | ±50mA |
|
±100V | 5mV | ±20mA |
|
電流源輸出范圍 | 電流輸出分辨率 | 輸出電壓 |
|
±100mA | 10uA | ±20V(>50mA) | |
±40V(>20mA) | |||
±100V(≦20mA) | |||
±10mA | 1uA | ||
±1mA | 100nA | ||
±100µA | 10nA | ||
±10µA | 1nA | ||
±1uA | 100pA | ||
±100nA | 10pA | ||
±10nA | 1pA | ||
±1nA | 100fA | ||
±100pA | 300fA |
施加/測(cè)量/限制
電壓量程 | 電壓源 | 電壓表 | 電壓限制 |
100V | ±（0.01%+5mV） | ±（0.06%+5mV） | ±（0.2%+300mV） |
40V | ±（0.01%+1mV） | ±（0.01%+5mV） | ±（1.5%+500mV） |
20V | ±（0.01%+500uV） | ±（0.01%+2mV） | ±（1%+50mV） |
電流量程 | 電流源 | 電流表 | 電流限制 |
100mA | ±（0.01%+5uA） | ±（0.01%+5uA） | ±（1%+500uA） |
10mA | ±（0.01%+200nA） | ±（0.01%+200nA） | ±（1%+100uA） |
1mA | ±（0.01%+20nA） | ±（0.01%+100nA） | ±（2%+10uA） |
100uA | ±（0.01%+5nA） | ±（0.01%+20nA） | ±（3%+100nA） |
10uA | ±（0.02%+500pA） | ±（0.02+%1nA） | ±（2%+50nA） |
1u | ±（0.05%+100pA） | ±（0.03+%100pA） | ±（3%+5nA） |
100nA | ±（0.08%+5pA） | ±（0.05+%10pA） | ±（2%+5pA） |
10nA | ±（0.2%+500fA） | ±（0.1+%10pA） | ±（2%+50pA） |
1nA | ±（0.5%+100fA） | ±（0.6+%300fA） | ±（4%+300fA） |
100pA | ±（3%+100fA） | ±（3%+300fA） | ±（5%+300fA） |
電流／電壓限制保護(hù)：
² 源／測(cè)量單元作為電壓源使用時(shí)可程控對(duì)其輸出電流進(jìn)行限制；
² 源／測(cè)量單元作為電流源使用時(shí)可程控對(duì)其負(fù)載上的電壓進(jìn)行限制；
限制保護(hù)范圍：
² 施加電壓－電流限制：10pA 到100mA；
² 施加電流－電壓限制：2V到100V；
阻抗及電容特性：
l 輸出阻抗（電壓源／電流監(jiān)測(cè)模式）：0.4Ω；
l 輸入阻抗（電流源／電壓監(jiān)測(cè)模式）：≥1013Ω；
l 電容性能負(fù)載：≤ 1000pF。
電壓表：測(cè)量范圍、分辨率、
測(cè)量電壓范圍 | 分辨率 | |
±1V | 50µV | ±（0.5%*讀出值+2mV） |
±10V | 500µV | ±（0.2%*讀出值+5mV） |
輸入阻抗：1MΩ±1%。
測(cè)量功能（所有通道）
承受電壓：100V（源／測(cè)量單元）
源模式（源／測(cè)量單元）：
² V（電壓源／電流監(jiān)測(cè)）；
² I（電流源／電壓監(jiān)測(cè)）。
源功能（源／測(cè)量單元）：
² 主步進(jìn)；
² 從步進(jìn)；
² 主同步進(jìn)；
² 恒定。
每個(gè)通道電壓／電流掃描步進(jìn)數(shù)：
² 掃描方式下，點(diǎn)數(shù)為1000點(diǎn)；
² 時(shí)間方式下，點(diǎn)數(shù)為10000點(diǎn)。
主步進(jìn)掃描類別：
² 線性掃描方式：通過設(shè)定開始值、終止值及步進(jìn)值定義掃描階梯；
² 對(duì)數(shù)掃描方式：通過設(shè)定開始值、終止值及選擇對(duì)數(shù)（Log10、25、50）。
掃描階梯：
² 主同步進(jìn)掃描：與主步進(jìn)掃描同步，可定義相對(duì)于主步進(jìn)掃描的斜率和偏移值；
² 從步進(jìn)掃描：通過設(shè)定開始值、終止值及步進(jìn)點(diǎn)數(shù)定義掃描階梯。每當(dāng)主步進(jìn)通道完成周期掃描時(shí)，從步進(jìn)通道的步進(jìn)值增加。
延遲時(shí)間：是指在掃描測(cè)量和時(shí)間測(cè)量工作模式下，施加和測(cè)量之間的延遲時(shí)間，用戶可對(duì)首點(diǎn)測(cè)量時(shí)間、測(cè)量間隔進(jìn)行設(shè)定。
測(cè)量模式：
² 單文件測(cè)量：任何一個(gè)用戶設(shè)定的單周期測(cè)量即為單文件測(cè)量；
² 組文件測(cè)量：將多個(gè)單文件設(shè)定不同周期并組合在一起測(cè)量。
分析功能：
操作環(huán)境
操作溫濕度：10℃到40℃；≦70%RH（40℃），溫度變化：≦1℃／5分鐘；
外形尺寸：480W x 340H x 620D（mm）；
重量：32kg。
