1、承載臺：
移動范圍： 手動調(diào)節(jié)，X方向200mm，螺距0.8mm，0.01mm；
手動調(diào)節(jié)，Y方向200mm，螺距0.8mm，0.01mm；
手動調(diào)節(jié)，Z方向5mm，螺距0.25mm，0.002mm；
2、探針座：
移動范圍： 手動調(diào)節(jié)，X方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm；
手動調(diào)節(jié)，Y方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm；
手動調(diào)節(jié)，Z方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm。
3、顯微鏡：
移動方向：Y，Z方向
總放大倍數(shù)：光學顯微鏡200X 連續(xù)可調(diào)；視頻顯微鏡400X,（10”液晶顯示器）
光源：環(huán)形熒光燈，220vAC，9w
4、 電氣指標：
測量電流：可測量1pA電流
測量試驗要求：a.探針和chuck的漏電不大于1PA；
b.探針和chuck的噪聲不大于1PA；
c.測量電壓從-10V到+10V,測量儀器4156C
5、加熱臺面指標：
加熱溫度范圍：常溫－200攝氏度或更高
溫度控制：常溫－100攝氏度：±1攝氏度；
100－200攝氏度：±2攝氏度；
晶片固定方式：壓式固定和真空吸附
