儀器用途
藍(lán)寶石晶棒X射線全自動(dòng)定向粘料機(jī)采用2軸動(dòng)態(tài)ω掃描技術(shù)，對(duì)定向原子面進(jìn)行精準(zhǔn)全自動(dòng)定向，并根據(jù)設(shè)定的角度補(bǔ)償值自動(dòng)完成相應(yīng)的角度補(bǔ)償，結(jié)合精密執(zhí)行機(jī)構(gòu)，了晶棒粘接的和穩(wěn)定性。
主要技術(shù)指標(biāo)與要求
1、 定向原子面：藍(lán)寶石晶體的R面、C面。
2、 晶棒規(guī)格：2吋、4吋、6吋。
3 、晶棒長(zhǎng)度：50~300 mm。
4、 晶棒重量： ≦10 Kg。
5、 接駁長(zhǎng)度：500 mm。
6、 定向：≦+ / - 20″ 。
7、 粘接：≦+ / -60″ 。
8、 角度補(bǔ)償：+ / - 1 5′ 。
藍(lán)寶石晶棒X射線全自動(dòng)定向粘料機(jī)采用2軸動(dòng)態(tài)ω掃描技術(shù)，對(duì)定向原子面進(jìn)行精準(zhǔn)全自動(dòng)定向，并根據(jù)設(shè)定的角度補(bǔ)償值自動(dòng)完成相應(yīng)的角度補(bǔ)償，結(jié)合精密執(zhí)行機(jī)構(gòu)，了晶棒粘接的和穩(wěn)定性。
主要技術(shù)指標(biāo)與要求
1、 定向原子面：藍(lán)寶石晶體的R面、C面。
2、 晶棒規(guī)格：2吋、4吋、6吋。
3 、晶棒長(zhǎng)度：50~300 mm。
4、 晶棒重量： ≦10 Kg。
5、 接駁長(zhǎng)度：500 mm。
6、 定向：≦+ / - 20″ 。
7、 粘接：≦+ / -60″ 。
8、 角度補(bǔ)償：+ / - 1 5′ 。
