1、儀器規(guī)格:
???外形尺寸:380 mm x 510mm x 365 mm(長x寬x高)
?。繕悠穫}尺寸:360mm×330 mm×50 mm(長x寬x高)
?。績x器重量:33.5kg
???供電電源:AC220V/50Hz
???功率:330W
?。抗ぷ鳒囟龋?5-30℃
???相對濕度:≤85%,不結(jié)露
2、鍍層測厚儀器特點(diǎn):
???外形特點(diǎn):
e儀器結(jié)構(gòu)采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì),儀器兩側(cè)按成人手臂長度設(shè)計(jì),方便移動、搬運(yùn)。
e上蓋傾斜6度角,寓意對客戶的尊重。
e樣品蓋采用鉛玻璃技術(shù),在操作人員的前提下,方便觀察樣品;
e表面采用汽車噴漆工藝,采用寶藍(lán)、雅致白搭配,藍(lán)色代表科技,白色代表圣潔,寓意對科學(xué)的敬仰。
?。枯椛渥o(hù):
e樣品蓋鑲嵌鉛板、鉛玻璃屏蔽X射線。
e輻射標(biāo)志警示。
e迷宮式結(jié)構(gòu),射線泄漏。
e連鎖設(shè)計(jì);測試過程中誤打開樣品蓋時,電路0.1μS快速切斷X射線。
e儀器經(jīng)第三方檢測,X射線劑量率合GB18871-2002《電離輻射護(hù)與輻射源基本標(biāo)準(zhǔn)》。
?硬件技術(shù):
e短光路設(shè)計(jì):無鹵檢測分辨率,樣品分析效率,降低光管功率,延長儀器使用壽命。
e模塊化準(zhǔn)直器,根據(jù)分析元素,配備不同材質(zhì)準(zhǔn)直器,從而降低準(zhǔn)直器對分析元素的影響,元素分辨率。
e空氣動力學(xué)設(shè)計(jì),加速光管冷卻,降低儀器內(nèi)部溫度;設(shè)計(jì)。
e電路系統(tǒng)合EMC、FCC測試標(biāo)準(zhǔn)。
e快拆卸樣品臺,換薄膜更方便。
?。寇浖夹g(shù):
e分析元素:Na~U之間元素。
e分析時間:60~400秒。
e配置RoHS檢測分析模型、無鹵分析模型和鍍層厚度分析模型。
e軟件界面簡潔,模塊化設(shè)計(jì),功能清晰,易操作。
eHeLeeX ED Workstation V3.0軟件擁有數(shù)據(jù)一鍵備份,一鍵還原功能,保護(hù)用戶數(shù)據(jù)。
eHeLeeX ED Workstation V3.0根據(jù)不同基體樣品,配備三種算法,增加樣品測試精準(zhǔn)度。
eHeLeeX ED Workstation V3.0配備開放式分析模型功能,客戶建立自己的工作模型。
鍍層測厚儀器硬件配置
1、探測器
???類型:Si-PIN探測器(采用原裝風(fēng)電致冷半導(dǎo)體探測器)
?探測器
?Be窗厚度:1mil
?。烤w面積:25mm2
?分辨率:149eV
???信號處理系統(tǒng)DP5
2、X射線管
???電壓:0~50kV
???電流:2.0mA
?功率:50W
?靶材:Mo
???Be窗厚度:0.5mm
?使用壽命:大于2萬小時
3、高壓電源
???高壓電源
???輸出電壓:0~50kV
?燈絲電流:0~2mA
?功率:50W
???紋波系數(shù):0.1%(p-p值)
?8小時穩(wěn)定性:0.05%
3.4、攝像頭
?微焦距
???免驅(qū)動
?500萬像素
3.5、準(zhǔn)直器、濾光片
?。靠觳鹦稖?zhǔn)直器、濾光片系統(tǒng)
?多種材質(zhì)準(zhǔn)直器
?光斑大小Φ0.7mm、Φ1.2mm、Φ3.0mm、Φ5.0mm
?。慷喾N濾光片、準(zhǔn)直器組合,軟件自動切換






