重量:80Kg
類型:自動(dòng)
測(cè)量型號(hào):≤12”
測(cè)量方法:無(wú)連接的
測(cè)量原理:反射計(jì)
特征:
測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
非接觸式,非破壞方式
的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2D/3D映射和造型
自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制
電荷耦合器件照相機(jī)
自動(dòng)調(diào)焦
活動(dòng)范圍:300mmx300mm
測(cè)量范圍:100Å~35㎛(Dependson Film Te)
光斑尺寸:40㎛/20㎛,4㎛(option)
測(cè)量速度:1~2sec。/site(fitting time)







