這款機(jī)型除了擁有AFM-II型原子力顯微鏡的功能以外，主要增加了AFM側(cè)向力/輕敲掃描模式(Tapping Mode)，適用于檢測(cè)生物樣品及其它柔軟、易碎、粘附性較強(qiáng)的樣品。具有STM恒流模式/恒高模式形貌檢測(cè)， I-V曲線測(cè)量， I-Z曲線測(cè)量，針尖修飾功能。AFM接觸/非接觸/側(cè)向力/輕敲掃描模式形貌檢測(cè)功能，劃移掃描，F(xiàn)-Z曲線測(cè)量功能。并使用了智能針尖連接技術(shù)，使各種工作模式之間的轉(zhuǎn)換替換相應(yīng)的針尖架，不替換整個(gè)探頭，軟件能夠自動(dòng)識(shí)別當(dāng)前針尖類型，并自動(dòng)切換到相應(yīng)的工作模式。操作方便。

　　用戶還能根據(jù)不同的科研要求，選擇3μm-100μm不同范圍的掃描器，以及高分辨CCD觀測(cè)系統(tǒng)和高樣品X-Y移動(dòng)平臺(tái)，使操作更加方便、。

　　同我們MicroNano 系列產(chǎn)品一樣，這款機(jī)型還可以根據(jù)用戶需要，選購(gòu)相應(yīng)的功能模塊，將功能擴(kuò)展至磁力顯微鏡模式。

技術(shù)指標(biāo)：
　　掃描模式：STM恒流/恒高模式掃描/ I-V曲線測(cè)量/I-Z曲線測(cè)量/針尖修飾（脈沖）
AFM接觸/非接觸/側(cè)向力/輕敲模式形貌/劃移掃描/F-Z曲線
　　樣品尺寸：≤Φ10mm
　　樣品厚度：≤5mm
　　掃描范圍：標(biāo)準(zhǔn)配置6μm×6μm
　　分辨率：STM（X-Y向0.1nm；Z向0.01nm）
　　　　　　接觸模式AFM（X-Y向0.2nm；Z向0.03nm）
　　　　　　輕敲模式AFM( x,y方向0.2 nm，z方向0.1nm)
　　XYZ控制：雙12-bit D/A（相當(dāng)于20位）
　　數(shù)據(jù)采樣：雙12-bit A/D （相當(dāng)于20位）
　　掃描速率：20000 P/S
　　掃描角度：0~360°
　　圖像采樣點(diǎn)：256×256 / 512×512
　　馬達(dá)控制：線動(dòng)螺紋+自動(dòng)馬達(dá)，行程<10mm，<0.1μm
　　計(jì)算機(jī)接口：標(biāo)準(zhǔn)并行口
　　配套大的MicroNano SPM 2.1軟件系統(tǒng)

可選配件及功能模塊：
　　3μm×3μm，20μm×20μm，50μm×50μm，100μm×100μm規(guī)格掃描器
　　高分辨CCD觀測(cè)系統(tǒng)
　　高樣品X-Y移動(dòng)平臺(tái)
　　MicroNano MFM-I型磁力顯微鏡功能模塊