硅片要求
規(guī)格：
方片：125×125mm、156×156mm
圓片：3"、4"、5"、6"、8"
測量功能
厚度：點及多點厚度
TTV：總厚度偏差
體電阻率：單點及多點電阻率
TRV：總體電阻率偏差
測量指標
厚度：
范圍：150-1000μm
測量誤差：≤&plun;1.0μm
重復性1σ：≤0.2μm
TTV：
范圍：0.0-200.0μm
測量誤差：≤&plun;0.50μm
重復性1σ：≤0.2μm
電阻率：
范圍：0.1-30Ω。cm
測量誤差：≤&plun;3.0%*R
重復性1σ：≤1.5%*R
規(guī)格：
方片：125×125mm、156×156mm
圓片：3"、4"、5"、6"、8"
測量功能
厚度：點及多點厚度
TTV：總厚度偏差
體電阻率：單點及多點電阻率
TRV：總體電阻率偏差
測量指標
厚度：
范圍：150-1000μm
測量誤差：≤&plun;1.0μm
重復性1σ：≤0.2μm
TTV：
范圍：0.0-200.0μm
測量誤差：≤&plun;0.50μm
重復性1σ：≤0.2μm
電阻率：
范圍：0.1-30Ω。cm
測量誤差：≤&plun;3.0%*R
重復性1σ：≤1.5%*R
