▲配置
TDC-200膜層控制儀可支持標準單探頭、帶擋板單探頭和帶擋板雙探頭。
TDC-200膜層控制儀配備了RS-232工業(yè)標準通信接口,配合本公司提供的計算機控制軟件,方便用戶在計算機上進行膜系編程,通過計算機進行數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析,實現(xiàn)遠程控制。用戶也可根據(jù)本公司提供的通信協(xié)議進行二次開發(fā),在自行設計的軟件中集成測量和控制功能,可方便地實現(xiàn)系統(tǒng)集成。
TDC-200膜層控制儀具有16個輸入/輸出端口。具有兩個高的源控制電壓輸出,以配合有兩個源的真空鍍膜設備,是在進行多層鍍膜時,大大了控制,進而鍍膜質量。
▲編程
TDC-200型膜層控制儀采用全中文人機操作界面,易于使用。配備256x128大型圖形點陣LCD,低功耗LED背光,整屏顯示內容多,并支持滾屏,用戶編程和操作方便快捷。
TDC-200膜層控制儀具有5個可編程工藝膜系,每個工藝膜系多能設定99層,共計495個膜層。包含一個267種材料的材料參數(shù)庫,其中已定義的材料為257種,未定義的材料10種,可由用戶自行設定。
▲功能
TDC-200膜層控制儀提供給用戶厚度、速度、功率等實時數(shù)據(jù),以便用戶可以對實時數(shù)據(jù)進行分析,并提供速度曲線和功率曲線,通過觀察過程曲線了解鍍膜情況,方便用戶找到的控制工藝。
TDC-200膜層控制儀采用閉環(huán)控制技術穩(wěn)定材料的沉積速率,與光學控制設備配合使用時,可配合光學測量系統(tǒng)測量膜層的光學厚度,用來補償物理厚度和光學厚度之間的偏差,可以滿足復雜的光學鍍膜工藝要求。
在鍍膜過程中,當晶片無效時,TDC-200膜層控制儀能自動設定中斷,并啟動切換程序,控制雙探頭系統(tǒng),待晶片切換成功后,繼續(xù)恢復鍍膜,以多層鍍膜工藝連續(xù)性。






