1、標準單探頭
是一種應(yīng)用廣泛的探頭。
2、帶擋板單探頭
用于對某特定材料的鍍膜質(zhì)量要求較高的場合。通常兩只輪流配合使用，當
鍍膜進行到質(zhì)量要求較高的關(guān)鍵材料層時，切換到另一只探頭，該探頭專門
對該材料層進行控制，從而該關(guān)鍵材料層的鍍膜質(zhì)量。
3、帶擋板雙探頭
應(yīng)用于大規(guī)模復(fù)雜的膜系制備，一個晶片完成的任務(wù)，一個晶片失效后，由另一晶片接替完成鍍膜任務(wù)，失效時被打斷的鍍膜層可繼續(xù)完成鍍膜。
是一種應(yīng)用廣泛的探頭。
2、帶擋板單探頭
用于對某特定材料的鍍膜質(zhì)量要求較高的場合。通常兩只輪流配合使用，當
鍍膜進行到質(zhì)量要求較高的關(guān)鍵材料層時，切換到另一只探頭，該探頭專門
對該材料層進行控制，從而該關(guān)鍵材料層的鍍膜質(zhì)量。
3、帶擋板雙探頭
應(yīng)用于大規(guī)模復(fù)雜的膜系制備，一個晶片完成的任務(wù)，一個晶片失效后，由另一晶片接替完成鍍膜任務(wù)，失效時被打斷的鍍膜層可繼續(xù)完成鍍膜。
