Y軸:1000 mm
Z軸:600 mm
◇結(jié)構(gòu)型式:移動(dòng)橋式
◇傳動(dòng)方式:直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載荷高空氣軸承
◇開(kāi)放式光柵尺
◇機(jī)臺(tái):高花崗巖平臺(tái)
◇整機(jī)尺寸:1509m m X 2040 m m X 2710m m
◇機(jī)臺(tái)承重:1000 kg ,
整機(jī)重量:2000 Kg
◇長(zhǎng)度測(cè)量允許示值誤差:MPEE=2.5+L/300
◇允許探測(cè)誤差(m):MPEP=2.5







