產(chǎn)品簡介
　　EM-30臺式掃描電鏡擁有EM-20型特征以外，加速電壓調(diào)節(jié)范圍擴展到30KV，先對于選配EDS的用戶，分析能力獲，其次獲得更高電子光學(xué)分辨能力，放大倍數(shù)進一步。另外EM-30樣品臺增加了馬達驅(qū)動傾斜臺，由酷塞目［COXEM］NanoStation計算機導(dǎo)航自動操作，不但可實現(xiàn)立體對觀察，而且通過對樣品臺精細地調(diào)節(jié)角度，可使用樣品室SE探測器獲得良好的背散射電子圖像。

　　技術(shù)指標(biāo)：
　　分辨率：5nm＠30kv　SEI
　　電子：發(fā)叉式鎢絲陰，預(yù)對中燈絲
　　放大倍數(shù)：X20　to　X100，000
　　加速電壓：1kV　to　30kV
　　探測器：SE　Detector，EDS/BSE（可選）
　　真空系統(tǒng)：全自動渦輪分子泵系統(tǒng)，高真空時間小于3分鐘
　　樣品臺：X　axis：35mm（馬達驅(qū)動）
　　Y　axis：35mm（馬達驅(qū)動）
　　T　axis：0~45°（馬達驅(qū)動）
　　Z　axis：5-50mm
　　R　axis：360度
　　樣品尺寸：45mm（H），70mm（Diameter）
　　視頻采集分辨率（Pixel）：選區(qū)（320x240），TV（640x480），Slow（800x600），Photo（1280x960，2560x1920，5120x3840）
　　幀頻：選區(qū)（Max.30　frames/sec），
　　TV（Max.10　frames/sec）
　　Slow（Max.2　frames/sec）
　　自動功能：一鍵成像，自動燈絲飽和，自動聚焦，自動亮度對比度
　　計算機操作系統(tǒng)：Windows　7
　　操作方式：鍵盤/鼠標(biāo)，全觸摸屏操作（可選）
　　外形尺寸：400（W）x　600（L）x　550（H）mm
　　重量：80kg