重量約：60kg
　　體積：590mmW*500mmD*700mmH
　　直徑為：6寸的真空卡盤（載物臺(tái)）
　　載物臺(tái)X-Y方向粗調(diào)移動(dòng)行程：4英寸*4英寸，移動(dòng)：10um
　　載物臺(tái)X-Y方向細(xì)調(diào)移動(dòng)行程：2英寸*2英寸，移動(dòng)：1um
　　卡盤可以快速升降，行程：4mm
　　回形平臺(tái)可以快速升降，升降行程：6mm，由圓形手柄控制，：1um
　　回形平臺(tái)可以上下微調(diào)行程：25mm，由手柄控制，：5um
　　戴物臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度：360度，帶鎖裝置，：0.1度
　　為滿足6個(gè)探針座同時(shí)放置使用，采用回形平臺(tái)設(shè)計(jì)
　　上加入卡盤的快速拖出200mm
　　可以安裝探針卡
　　
　　長(zhǎng)工作距離金相顯微鏡
　　高解析度
　　目鏡：10X
　　連續(xù)變焦 1X/2X
　　2X 10X 20X 50X 100X
　　總倍率范圍：20X-2000X
　　150瓦高亮白色光源，可連續(xù)調(diào)節(jié)亮度（無調(diào)節(jié)）
　　顯微鏡X-Y軸的行程是：2英寸*2英寸1微米
　　顯微鏡Z軸的行軸是：50.8mm
　　C Mount 接口
　　
　　管狀?yuàn)A具/1.5m長(zhǎng)線纜/三軸（公）接頭
　　三軸管狀?yuàn)A具與屏蔽箱及環(huán)境因素的配合可100FA的漏電
　　三軸（母）轉(zhuǎn)三軸（母）轉(zhuǎn)接頭，適用于KEITHLEY4200/AGILENT B1500
　　
　　震桌
　　垂直頻率：1.2〜1.5Hz
　　水平頻率：1.5〜1.7Hz
　　尺寸大于90cm*90cm，承重≥400kg
　　4個(gè)氣囊
　　
　　屏蔽箱
　　與管狀?yuàn)A具及雙屏蔽線纜并結(jié)合相應(yīng)的環(huán)境因素，漏電可100FA，配合線纜可高壓1000V.
　　
　　型號(hào) 8寸
　　產(chǎn)量 100臺(tái)/年
　　尺寸各種尺寸
　　公司名稱深圳市展芯科技有限公司