(一)探針臺臺體
總體規(guī)格特點
1、重量:約25KGS(帶顯微鏡)
2、尺寸:約350mm(長)*350mm(寬)*400mm(高)(帶顯微鏡)
探針座臺面規(guī)格
1、探針臺臺面平整度:≤5µm;
2、臺面可同時容4-6個探針座。
卡盤(載物臺)規(guī)格
1、4″卡板,卡板平整度:≤5µm;可放置樣品尺寸為4″X 4″。
2、卡板上可根據(jù)客戶要求增加信號連接口,便于與儀器連接。
3、卡板可360度旋轉(zhuǎn),方便檢測時調(diào)整樣品的位置。
?。ǘw視顯微鏡 Microscope Stereo
1、本顯微鏡為連續(xù)變倍,變倍比為:6.3:1;
2、光學(xué)系統(tǒng)內(nèi),連續(xù)變焦范圍0.8X-5X;
3、目鏡放大倍率:20X;
4、總倍率:16X-100X;
5、雙目觀察傾斜45度,雙眸距調(diào)節(jié)范圍52-75MM;
6、顯微鏡在Z軸向的調(diào)節(jié)范圍為50.8MM;
(三)探針座+夾具
總體規(guī)格特點
1、重量:200g;
2、10Micron;
3、牙具:50牙/寸
4、X-Y-Z線性移動范圍12mm X 12mm X 12mm
5、磁力底座,其特點:簡易小巧,操作方便。
夾具參數(shù)
1、采用彈簧夾具;
2、單層屏蔽線纜采用美國產(chǎn)品;
3、配有BNC(MALE)接頭,方便與儀器相連;
4、漏電≤10PA.
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探針參數(shù)
探針分類:軟件及硬件
軟件:0.2µm/0.7µm/1µm;
硬件:5µm/10µm/15µm/20µm;
探針材質(zhì):針桿為鎳,針尖為鎢;
美國探針,通過SEM(掃描電子顯示顯微鏡檢測)針尖打磨光滑無鱗片狀。
產(chǎn)品的優(yōu)勢有以下幾點:
1、產(chǎn)品的尺寸可以根據(jù)客戶的要求實際更改定制;
2、底板的四個固定腳為震膠墊,可的外界干擾;
3、四根支撐架堅固,銹;
4、簡易臺的體積雖然小巧,但是同樣在臺體的穩(wěn)固,耐用及銹方面做了設(shè)計上的處理,產(chǎn)品的品質(zhì);
5、Perfictlab是以半導(dǎo)體FA實驗室為技術(shù)支持的設(shè)備供應(yīng)商,了產(chǎn)品的售后服務(wù),服務(wù)和技術(shù)支持上的強大優(yōu)勢。






