NA MASTER(那諾-馬斯特)提供的雙蒸發(fā)源系統(tǒng)支持標(biāo)準(zhǔn)坩堝，用于和金屬材料的熱蒸發(fā)。設(shè)計充分考慮清潔、均勻度、可控性、可重復(fù)性、小占地面積，持續(xù)性控制加熱器電流。型號包含NTE-3000，NTE-4000。

熱蒸鍍系統(tǒng)

        NA-MASTER(那諾-馬斯特) NTE-3000是一款PC計算機(jī)控制的臺式熱蒸發(fā)系統(tǒng)，在物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計經(jīng)過慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程。它們具有格, 以及力的特點(diǎn)，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

        NTE-4000是一個式熱蒸發(fā)系統(tǒng)，提供更多的空間可用于支持額外的能力，如共蒸發(fā)、雙蒸發(fā)以及濺射等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 可支持7”的方片或200mm的晶圓片

• 沉積速度可控

• 旋轉(zhuǎn)的樣品臺

• 雙坩堝或舟

• 2KVA SRC控制電源

• 晶振式膜厚監(jiān)測儀

• 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計算機(jī)控制

產(chǎn)品型號：

• NTE-4000：基于PC計算機(jī)全自動控制的系統(tǒng)

• NTE-3500：基于PC計算機(jī)全自動控制的緊湊型系統(tǒng)

• NTE-3000：基于PC計算機(jī)全自動控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)

• NTE-1000：計算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)

                                                            帶遮板的雙坩堝源